Hamideh Rostami、藍俊宏*、陳正剛、Claude Yugma: Equipment Deterioration Modeling and Cause Diagnosis in Semiconductor Manufacturing, International Journal of Intelligent Systems, vol. 36, no. 6, pp. 2618-2638, Feb. 2021.
基於狀態的監測系統 (CBM, Condition-based Monitoring) 作為一新的控制方案,先試圖將機器狀態特徵化、指標化,藉此觸發相應的控制動作。在CBM的架構中,應包括既有錯誤診斷和未來失效預測兩模組。在我們的這項研究中,針對半導體晶圓製造過程中收集到的機台感測器訊號 (如下 ...更多