Hamideh Rostami、藍俊宏*、陳正剛、Claude Yugma:Equipment Deterioration Modeling and Cause Diagnosis in Semiconductor Manufacturing, International Journal of Intelligent Systems, vol. 36, no. 6, pp. 2618-2638, Feb. 2021.
由於感測器技術與資訊系統的普及,資料驅動的控管模型,如「基於狀態的監測系統」(CBM, Condition-based Monitoring) 成為一備受期待的方法論,其概念在先透過資料將機器的狀態指標化後進行監控,觸發相應的行動。CBM的架構包含「已發生的錯誤診斷」和「未來可能失效的預測」兩類 ...更多