陳庭毅、蔡淳樸、李尉彰*：A CMOS-MEMS Ultrasensitive Thermometer Using Internal Resonance Induced Frequency Combs, in the 36th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS’23), Munich, Germany, Jun. 15-19, 2023. (Oral Presentation).
欲將微機電系統作為感測平台使用，其靈敏度與驅動電訊號大小等議題就顯得相當重要，目前也已有許多新穎的方式被提出用來改善元件的感測靈敏度，如結構改良與引入非線性操作等。在各式非線性振動行為中，機械頻率梳(mechanical frequency comb)因具有提高微機電系統效能的潛力，近年來受到廣 ...更多